超純水は何に使うか
半導体では工程の途中で繰り返し洗浄する。洗浄水に含まれる金属イオン、有機物や微粒子が残れば、微細な構造や表面を損なうおそれがある。超純水とは単なる飲める水ではなく、用途に合わせて不純物を極めて低く抑えた水を指す。
複数の処理を組み合わせる
逆浸透膜、イオン交換、紫外線処理、脱気、限外ろ過などは、除く対象や役割が違う。野村マイクロ等のシステム図で工程を順に読むと、一つのフィルターだけで全てを処理できないことが分かる。必要水量、原水、水質目標に合わせた設計が必要になる。
作った水を汚さず届ける
超純水を製造できても、配管やタンクで不純物が溶出すれば品質は保てない。積水化学と栗田工業の配管実証は、この輸送経路にも技術課題がある例である。抵抗率など一つの指標だけで、微粒子や有機物を含む全ての清浄度が分かるわけではない。
空間と排気を整える
大気社、高砂熱学、新菱冷熱等は、工場内の粒子・温湿度などを管理する環境設備に関わる。清浄度を上げるだけでなく、温度安定性、消費電力、保守のしやすさも考慮する。大気社のJASM第1工場施工は、具体的な案件の接点として確認できる。
建てた後も仕事が続く
栗田工業、オルガノ、野村マイクロの事業には設備工事だけでなく保守・消耗品・運転等があり、ジャパンマテリアルは工場インフラ供給を支援する。設備を自社保有して水を供給するモデルもあるため、継続売上が必ず資本不要の収益とは限らない。