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東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー
日本 · 親会社グループ：東証 3402
会社全体の見取り図
東レエンジニアリンググループで半導体の検査・計測等を担う企業です。電子線や光を使い、パターンと設計情報や良品を比べる装置に接点があります。親会社の繊維・化学材料全体をこの事業と同一に扱いません。
主な事業を理解するための整理です。報告セグメントの完全な一覧や売上構成比ではありません。子会社・事業部門を掲載する場合は、その主体を明記しています。
この製造フローでは何を担う？
電子線によるパターンと設計データの比較、光学検査による良品比較などの装置を扱う。マスク、ウエハ、電気テストでは比較する対象が違うことを意識する。
NGR電子線パターン検査DSI光学ウエハ検査
誰に、何を売っている？
装置・機器・部材の販売と、該当製品の保守・部品・更新。新規投資と導入後の需要を分けます。